[实用新型]一种能够带动太阳能电池硅片镀膜时转动的镀膜炉

摘要

本实用新型公开了一种能够带动太阳能电池硅片镀膜时转动的镀膜炉，包括炉体和石墨舟，炉体的顶部设置有多个工艺气体的喷气口，用于给硅片镀膜，石墨舟位于喷气口的下方，用于承载硅片，所述镀膜炉还具有旋转台，所述旋转台位于炉体的中心位置处，所述石墨舟承托在所述旋转台上，所述旋转台在旋转过程中能够带动石墨舟同步转动，保证硅片与工艺气体充分接触，从而提高硅片的镀膜均匀性。该镀膜炉采用旋转石墨舟，在镀膜过程中，硅片能与工艺气体充分接触，提高硅片的镀膜均匀性，从而提高电池产品的外观合格率和光电转换效率。

主权项

一种能够带动太阳能电池硅片镀膜时转动的镀膜炉，包括炉体和石墨舟，炉体的顶部设置有多个工艺气体的喷气口，用于给硅片镀膜，石墨舟位于喷气口的下方，用于承载硅片，其特征在于：所述镀膜炉还具有旋转台，所述旋转台位于炉体的中心位置处，所述石墨舟承托在所述旋转台上，所述旋转台在旋转过程中能够带动石墨舟同步转动，保证硅片与工艺气体充分接触，从而提高硅片的镀膜均匀性。