[实用新型]一种静电吸附拾取夹具系统

摘要

本实用新型公开一种静电吸附拾取夹具系统，包括可对微薄片进行筛选的筛选平台、可对筛选平台上的微薄片进行静电吸附并转移的静电吸附夹具、可对被静电吸附的微薄片去除静电的去静电平台。具体地，筛选平台包括可承载微薄片的负极板载物台，以及位于负极板载物台下方并带有正电荷的筛选正极板；静电吸附夹具设有带有正电荷的夹具正极板，去静电平台包括静电载物台以及位于下方的电容极板。相对于现有技术，本实用新型能够有效解决纳米级成品进行准确搬移的技术问题，能够有效筛选成品、有效吸附成品以及缓降定位等优点，能够提高生产效率以及保证成品完整性。

主权项

一种静电吸附拾取夹具系统，其特征在于，包括：可对微薄片进行筛选的筛选平台；可对所述筛选平台上的微薄片进行静电吸附并转移的静电吸附夹具；可对被静电吸附的微薄片去除静电的去静电平台；所述筛选平台包括可承载微薄片的负极板载物台、位于所述负极板载物台下方并带有正电荷的筛选正极板以及位于所述筛选正极板下方的电池层；所述静电吸附夹具设有带有正电荷的夹具正极板，所述去静电平台包括静电载物台以及位于下方的电容极板。