[实用新型]一种刻蚀腔室上刻蚀入口的闸门装置

摘要

本实用新型公开了一种刻蚀腔室上刻蚀入口的闸门装置，包括驱动轴、气缸、第一驱动块、第二驱动块以及设有槽孔的挡板，所述气缸固定于所述刻蚀腔室的外壁上，且气缸的气缸轴与第二驱动块相连，第二驱动块与第一驱动块相铰接，第一驱动块固定于驱动轴上，驱动轴转动设于所述刻蚀腔室内，挡板倾斜抵接于刻蚀腔室的内壁上并将所述刻蚀腔室的刻蚀入口封闭，气缸的气缸轴收缩并驱动挡板转动，挡板的一端面平行抵触于刻蚀腔室的内壁时，所述槽孔与所述刻蚀入口相贯通。本实用新型能够在电子显示屏刻蚀加工过程中，有效的闭合刻蚀腔室上的刻蚀入口，使得酸液不会外泄，净房环境变好，避免腐蚀非工艺腔内的滚轮、电机等部件，从而保证良好的生产工艺。

主权项

一种刻蚀腔室上刻蚀入口的闸门装置，其特征在于：包括驱动轴（12）、气缸（13）、第一驱动块（14）、第二驱动块（15）以及设有槽孔（110）的挡板（11），所述气缸（13）固定于所述刻蚀腔室的外壁上，且气缸（13）的气缸轴与第二驱动块（15）相连，第二驱动块（15）与第一驱动块（14）相铰接，第一驱动块（14）固定于驱动轴（12）上，驱动轴（12）转动设于所述刻蚀腔室内，挡板（11）倾斜抵接于刻蚀腔室的内壁上并将所述刻蚀腔室的刻蚀入口封闭，气缸（13）的气缸轴收缩并驱动挡板（11）转动，挡板（11）的一端面平行抵触于刻蚀腔室的内壁时，所述槽孔（110）与所述刻蚀入口相贯通。