[实用新型]一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备，包括主机架，所述主机架上方安装有罗茨泵，且主机架右侧固定有传膜架，所述主机架通过支管与滑阀泵相连接，所述滑阀泵上方安装有维持泵，且维持泵通过导线与起重架固定连接，所述起重架上设置有前置阀，所述滑阀泵左侧安装有低温水气泵，且低温水气泵下方设置有镀膜室，所述镀膜室右下方设置有卷绕室，且卷绕室安装在底架上，所述底架内设置有真空室，且真空室右侧固定有增压泵，所述增压泵右侧设有控制柜，且控制柜通过主轴与底架相连接。本实用新型的镀膜室可保持高真空状态，杂质气体少，可有效地防止膜料蒸气被杂质气体污染，从而可以获得品质更优的膜层，且设备自动化程度较高。

主权项

一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备，包括主机架（3），其特征在于：所述主机架（3）上方安装有罗茨泵（2），且主机架（3）右侧固定有传膜架（4），所述主机架（3）通过支管（18）与滑阀泵（8）相连接，所述滑阀泵（8）上方安装有维持泵（6），且维持泵（6）通过导线与起重架（7）固定连接，所述起重架（7）上设置有前置阀（5），所述滑阀泵（8）左侧安装有低温水气泵（17），且低温水气泵（17）下方设置有镀膜室（15），所述镀膜室（15）右下方设置有卷绕室（14），且卷绕室（14）安装在底架（13）上，所述底架（13）内设置有真空室（12），且真空室（12）右侧固定有增压泵（11），所述增压泵（11）右侧设有控制柜（10），且控制柜（10）通过主轴（9）与底架（13）相连接。