[实用新型]实时测量紫外光强度的硅片光刻机

摘要

本申请公开了一种实时测量紫外光强度的硅片光刻机，包括紫外光遮罩体，该紫外光遮罩体具有一光刻腔体，光刻腔体内上下依次设置有照明系统、掩膜台系统和自动对准系统，照明系统包括紫外光源和紫外辐射照计模块，紫外光遮罩体上设置有操作面板，该操作面板包括紫外线强度显示窗口，紫外光遮罩体开设有样品取置窗口，该取置窗口遮盖有紫外光隔离门。本新型在光源附近设置紫外辐射照计模块，用于实时测量和查看紫外线的强度，比现有的光刻机增加了光强参数，具有及时更换紫外灯，增加了曝光的成功率的优势，另外，本新型的光刻机设置了保护系统，避免了曝光过程中紫外光对人体及环境产生伤害，具有人性化、绿色的优点。

主权项

一种实时测量紫外光强度的硅片光刻机，其特征在于，包括紫外光遮罩体，该紫外光遮罩体具有一光刻腔体，所述光刻腔体内上下依次设置有照明系统、掩膜台系统和自动对准系统，所述照明系统包括紫外光源和紫外辐射照计模块，所述紫外光遮罩体上设置有操作面板，所述紫外辐射照计模块连接于所述照明系统，该操作面板包括紫外线强度显示窗口，所述紫外光遮罩体开设有样品取置窗口，该取置窗口遮盖有紫外光隔离门。