[实用新型]集合式干法制绒装置及生产线

摘要

本实用新型提供了一种集合式干法制绒装置，包括前清洗机构、后清洗机构、自动化上下料机构和RIE干法制绒机；前清洗机构与自动化上下料机构的进料端连接；后清洗机构与自动化上下料机构的出料端连接；RIE干法制绒机与自动化上下料机构连接。本实用新型将前清洗，干法制绒，后清洗整合到一台设备上，中间用自动化硅片上下料和传输，实现自动化，降低生产成本。在此基础上，本实用新型还提供了一种采用该集合式干法制绒装置的生产线。

主权项

一种集合式干法制绒装置，其特征在于，包括前清洗机构、后清洗机构、自动化上下料机构和RIE干法制绒机；所述前清洗机构与所述自动化上下料机构的进料端连接；所述后清洗机构与所述自动化上下料机构的出料端连接；所述RIE干法制绒机与所述自动化上下料机构连接。