[实用新型]一种测试装置有效
申请号: | 201720337248.6 | 申请日: | 2017-03-31 |
公开(公告)号: | CN206696209U | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
发明(设计)人: | 张振 | 申请(专利权)人: | 上海品臻影像科技有限公司 |
主分类号: | G01N23/227 | 分类号: | G01N23/227 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 200331 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种测试装置,应用于X射线曝光检测器件测试,包括非透光的腔体、光源板、支承柱和探针,光源板、支承柱以及探针设置在腔体内;光源板包括分布在光源板一侧表面的多个发光体,以及与发光体连接的、用于控制发光体产生预设强度光的控制部;支承柱设置在光源板发射光一侧,由多个支承柱形成与光源板平行的支承平面,用于放置待测试器件;探针用于触发待测试器件,并在触发时探测到待测试器件产生感应电流时发出指示信号。本实用新型测试装置实现了对X射线曝光检测器件的光电感应测试,与现有测试方法相比,不需要将X射线曝光检测器件装机,再通过X射线曝光来进行测试,可简化测试流程,提高测试效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 测试 装置 | ||
【主权项】:
一种测试装置,应用于X射线曝光检测器件测试,其特征在于,包括非透光的腔体、光源板、支承柱和探针,所述光源板、所述支承柱以及所述探针设置在所述腔体内;所述光源板包括分布在所述光源板一侧表面的多个发光体,以及与所述发光体连接的、用于控制所述发光体产生预设强度光的控制部;所述支承柱设置在所述光源板发射光一侧,由多个所述支承柱形成与光源板平行的支承平面,用于放置待测试器件;所述探针用于触发所述待测试器件,并在触发时探测到所述待测试器件产生感应电流时发出指示信号。
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