[实用新型]一种坩埚

摘要

本实用新型公开了一种坩埚，包括坩埚本体，坩埚本体的内部具有腔室，坩埚本体的顶壁上具有通孔，腔室与通孔相通；功能盖，铰接安装在坩埚本体的顶壁上，用于打开和关闭通孔；和压力开关，安装在坩埚本体的顶壁上，用于锁定和解锁功能盖。进行蒸镀工艺时，在坩埚本体外的空气被抽走之后，坩埚本体内的压力大于外界压力、且二者的压力差值达到设定值时，坩埚本体内部的压力气体触发压力开关，使压力开关打开功能盖，腔室则通过通孔与外界连通，坩埚本体内的保护气体再被抽走，以此来实现防止易氧化的蒸镀材料氧化变质的目的。

主权项

一种坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体，所述坩埚本体的内部具有腔室，所述坩埚本体的顶壁上具有通孔，所述腔室与所述通孔相通；功能盖，铰接安装在所述坩埚本体的顶壁上，用于打开和关闭所述通孔；和压力开关，安装在所述坩埚本体的顶壁上，用于锁定和解锁所述功能盖；其中，所述压力开关锁定所述功能盖时，所述功能盖关闭所述通孔；所述腔室内的压力大于外界压力设定值时，所述压力开关解锁所述功能盖，所述功能盖打开所述通孔。