[实用新型]用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪有效
| 申请号： | 201720370113.X | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN206854197U | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 范银波 | 申请（专利权）人： | 安徽高芯众科半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙)32267 | 代理人： | 马广旭 |
| 地址： | 247099 安徽省池州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪，包括主壳体、副管体、活动连接部，所述主壳体中心具有主水道，主壳体和副管体一端有限位部，所述活动连接部包括上螺套、主轴承、下螺套，所述上螺套套接于主壳体下端，所述下螺套套接于副管体上端，两限位部上表面配合一主轴承，所述上螺套与下螺套以螺纹配合连接；所述副管体中心贯穿有主水道延伸部并与主水道正对，所述主水道延伸部向下连通有若干副水道，所述副水道围绕副管体向下以螺旋状延伸，所述副水道末端上部还具有导流块。本实用新型以简洁的结构，不仅实现了管体静止情况下的水射流旋转，也加入了管体本身旋转的机构，工艺灵活多变。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄膜 制程铝铜 溅射 机台 零部件 再生 水射流 | ||
【主权项】：
用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪，其特征在于，包括主壳体、副管体、活动连接部，所述主壳体中心具有主水道，主壳体下端一体地围绕有第一限位部，所述副管体上端一体地围绕有第二限位部，所述活动连接部包括上螺套、主轴承、下螺套，所述上螺套套接于主壳体下端并被第一限位部限位，所述下螺套套接于副管体上端并被第二限位部限位，所述第一限位部下表面和第二限位部上表面配合一主轴承，所述上螺套与下螺套以螺纹配合连接；所述副管体中心贯穿有主水道延伸部并与主水道正对，所述主水道延伸部向下连通有若干副水道，所述副水道围绕副管体向下以螺旋状延伸，所述副水道尾部上侧具有弯折部，副水道末端切线方向与水平方向成斜角，所述副水道末端上部还具有导流块。
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