[实用新型]连续式沉积装置

摘要

一种连续式沉积装置，其包含第一固持腔室，其包含第一固持组件，其设置于第一固持腔室内；第一泵浦，其与第一固持腔室连接，以调整第一固持腔室的压力；第二固持腔室，其包含第二固持组件，其设置于第二固持腔室内，其中卷材的两端分别固定于第一固持组件以及第二固持组件；第二泵浦，其与第二固持腔室连接，以调整第二固持腔室的压力；以及多个反应腔室，其彼此连接，其中上游侧的反应腔室与第一固持腔室连接，下游侧的反应腔室与第二固持腔室连接，使卷材连续地通过多个反应腔室，且多个反应腔室分别提供反应物沉积于该卷材上。

主权项

一种连续式沉积装置，其特征在于，包含：一第一固持腔室，其包含一第一固持组件，其设置于该第一固持腔室内；一第一泵浦，其与该第一固持腔室连接，以调整该第一固持腔室的压力；一第二固持腔室，其包含一第二固持组件，其设置于该第二固持腔室内，其中一卷材的两端分别固定于该第一固持组件以及该第二固持组件；一第二泵浦，其与该第二固持腔室连接，以调整该第二固持腔室的压力；以及多个反应腔室，其彼此连接，其中上游侧的该反应腔室与该第一固持腔室连接，下游侧的该反应腔室与该第二固持腔室连接，使该卷材连续地通过该多个反应腔室，且该多个反应腔室分别提供一反应物沉积于该卷材上。