[实用新型]晶圆抛光工艺用的货架

摘要

本实用新型提供一种晶圆抛光工艺用的货架，包括底板、前下盖板、后盖板、上盖板、进水管、排水管、第一喷淋头、载板、模板、和感应装置；前下盖板竖立连接在底板前端，后盖板竖立连接在底板后端；载板斜向搁置在前下盖板上，向后盖板方向下倾斜；模板放置于载板上，并被载板前端表面设置的凸点所挡住；后盖板的内侧连接第一喷淋头，外侧连接进水管；第一喷淋头位于模板上方；第一喷淋头上排布有喷水孔；所述第一喷淋头与进水管连接；在后盖板底部外侧还连接出水管；上盖板与后盖板连接或独立设置，上盖板上设有感应装置。通过本实用新型，抛光结束后可以把模板和晶圆立即放入喷淋水下，可以延长晶圆的下片时间。

主权项

一种晶圆抛光工艺用的货架，其特征在于，包括：底板(100)、前下盖板(113)、后盖板(101)、上盖板(104)、进水管(105)、排水管(108)、第一喷淋头(102)、载板(106)、模板(109)、和感应装置(103)；前下盖板(113)竖立连接在底板(100)前端，后盖板(101)竖立连接在底板(100)后端；载板(106)斜向搁置在前下盖板(113)上，向后盖板(101)方向下倾斜；模板(109)放置于载板(106)上，并被载板(106)前端表面设置的凸点(112)所挡住；后盖板(101)的内侧连接第一喷淋头(102)，外侧连接进水管(105)；第一喷淋头(102)位于模板(109)上方；第一喷淋头(102)上排布有喷水孔(1021)；所述第一喷淋头(102)与进水管(105)连接；在后盖板(101)底部外侧还连接出水管(108)；上盖板(104)与后盖板(101)连接或独立设置，上盖板(104)上设有感应装置(103)。