[实用新型]旋干机的桶槽结构有效
| 申请号： | 201720376158.8 | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN206803606U | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 张振;钱宏亮;李晓明;吕晓飞;王豪 | 申请（专利权）人： | 江苏晶瑞半导体有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B21/14;F26B25/00 |
| 代理公司： | 常州知融专利代理事务所(普通合伙)32302 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213314 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶片加工技术领域，尤其是一种旋干机的桶槽结构。一种旋干机的桶槽结构，包括圆筒形反应槽，反应槽的一端为开口，另一端连接有端板，端板中间开设有通孔，通孔上安装有皮碗密封件，皮碗密封件的边缘上连接有密封环，端板边缘处连接有静电消除器及氮气阀；反应槽的外侧壁上通过螺栓固定有氮气喷嘴组件，反应槽相对于所述氮气喷嘴组件一侧的外壁上连接有柔性加热器垫，反应槽外壁上、柔性加热器垫与氮气喷嘴组件的中间通过螺栓连接有去离子水喷嘴组件。本实用新型可以使用最短时间达到旋干晶片的目的，反应槽上采用柔性加热器垫，大幅增加受热面积与均匀度，氮气由反应槽上方均匀释放于反应槽中，可以避免晶片发生水痕现象。 | ||
| 搜索关键词： | 旋干机 结构 | ||
【主权项】：
一种旋干机的桶槽结构，包括圆筒形反应槽，其特征在于：所述反应槽的一端为开口，另一端连接有端板，所述端板中间开设有通孔，所述通孔上安装有皮碗密封件，所述皮碗密封件的边缘上连接有密封环，端板边缘处连接有静电消除器及氮气阀；所述反应槽的外侧壁上通过螺栓固定有氮气喷嘴组件，反应槽相对于所述氮气喷嘴组件一侧的外壁上连接有柔性加热器垫，反应槽外壁上、柔性加热器垫与氮气喷嘴组件的中间通过螺栓连接有去离子水喷嘴组件。
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