[实用新型]冷却机及冷却系统及真空等离子设备

摘要

本实用新型涉及一种冷却机，其包括储液槽、温控机构、出液管路、外输管路、回液管路、设置在外输管路上的第一液阀、设置在回液管路上的第二液阀、连接于外输管路以及回液管路之间的气推管路、以及设置在气推管路上的三通阀；三通阀的进口连接气源，三通阀的第一出口通过所述气推管路与所述外输管路连通，三通阀的第二出口通过所述气推管路与回液管路连通。上述冷却机，可以采用气推的方式，用冷却液对待冷却设备进行冲洗，从而将碎屑从待冷却设备上冲刷下来，进而避免了堵塞，从而保证的设备的正常运行，确保产品的质量。本实用新型还提供了一种冷却系统以及真空等离子设备。

主权项

一种冷却机，其特征在于，包括：储液槽，用于存储冷却液；温控机构；出液管路，用于连接所述温控机构与所述储液槽；外输管路，用于连接所述温控机构与待冷却设备；回液管路，用于连接所述储液槽与待冷却设备；第一液阀，设置在所述外输管路上；第二液阀，设置在所述回液管路上；气推管路，连接于所述外输管路以及所述回液管路之间，以引入气压并利用气压将冷却液推入待冷却设备；以及三通阀，设置在所述气推管路上；所述三通阀的进口连接气源，所述三通阀的第一出口通过所述气推管路与所述外输管路连通，所述三通阀的第二出口通过所述气推管路与回液管路连通。