[实用新型]一种用于饱和管式PECVD用石墨舟的陶瓷罩有效
| 申请号： | 201720426637.6 | 申请日： | 2017-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN206639785U | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 郑银先;党继东;张标 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于饱和管式PECVD用石墨舟的陶瓷罩，其包括陶瓷罩本体，所述陶瓷罩本体的正面设有与石墨舟上的卡点相配合的凹槽，所述凹槽的一端为延伸到陶瓷罩本体的边缘的开口结构，所述凹槽的另一端为位于陶瓷罩本体上的封闭结构。本实用新型在安装时无需拆卸石墨舟，不仅缩短了工艺流程，提高了生产效率，还能避免石墨舟因频繁拆卸而损坏，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 饱和 pecvd 石墨 陶瓷 | ||
【主权项】：
一种用于饱和管式PECVD用石墨舟的陶瓷罩，其特征在于：其包括陶瓷罩本体，所述陶瓷罩本体的正面设有与石墨舟上的卡点相配合的凹槽，所述凹槽的一端为延伸到陶瓷罩本体的边缘的开口结构，所述凹槽的另一端为位于陶瓷罩本体上的封闭结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
