[实用新型]一种加药机

摘要

本实用新型公开了一种加药机。所述加药机包括切割水进水管；药液混合管，所述药液混合管包括第一进液口、第二进液口以及出液口，出液口与晶圆切割设备的进液口连通，所述第一进液口与所述切割水进水管连通；传感器，所述传感器设置在所述切割水进水管内；控制器，所述控制器与所述传感器连接；加药系统，所述加药系统包括加药系统出液口以及控制端，所述加药系统出液口与所述第二进液口通过管路连接，所述控制端与所述控制器连接；流量计，所述流量计设置在所述加药系统出液口与所述第二进液口连通的管路中，所述流量计与所述控制器连接。本申请具有如下有益效果为使用流量计监控加药机是否在均匀往晶圆切割设备中加药，无需人工监控。

主权项

一种加药机，用于为晶圆切割设备提供混合药液，其特征在于，所述加药机包括：切割水进水管(1)；药液混合管(2)，所述药液混合管(2)包括第一进液口、第二进液口以及出液口，所述出液口与所述晶圆切割设备(3)的进液口连通，所述第一进液口与所述切割水进水管连通；传感器(4)，所述传感器(4)设置在所述切割水进水管(1)内；控制器(5)，所述控制器(5)与所述传感器(4)连接；加药系统，所述加药系统包括加药系统出液口以及控制端，所述加药系统出液口与所述第二进液口通过管路连接，所述控制端与所述控制器连接；流量计(6)，所述流量计(6)设置在所述加药系统出液口与所述第二进液口连通的管路中，所述流量计(6)与所述控制器连接；其中，所述传感器(4)用于检测是否有液体流过，并将信号传递给所述控制器；所述控制器(5)用于根据所述传感器传递的信号向所述加药系统传递工作信号；所述加药系统用于根据所述控制器的控制从而工作；所述流量计(6)用于检测流经所述流量计的液体流量。