[实用新型]一种具有高效吸收膜的太阳能光热板

摘要

本实用新型揭示一种高效吸收膜的太阳能光热板，其包括太阳能光热板主体、设于太阳能光热板主体上的板芯基片以及溅镀于板芯基片表层的高效吸收膜，高效吸收膜包括于板芯基片上由下至上依次溅镀层叠的结合层、辅助吸收层、低发射层、高吸收层以及减反保护层，高吸收层由SiTiAlNx组成，其四种元素的原子比为10.5～10.5～21～2。本实用新型的太阳能光热板具有五层结构的高效吸收膜，其高吸收率和低发射率的性能使太阳能光热板具备更优秀的光热吸收率，同时高吸收层以SiTiAlNx取代传统的TiONx，提高高吸收层制备过程中的膜层组成的稳定性，降低了制备所使用的靶材的成本，降低了太阳能光热板的生产成本。

主权项

一种具有高效吸收膜的太阳能光热板，其特征在于，包括：太阳能光热板主体(1)、设于所述太阳能光热板主体(1)上的板芯基片(2)以及溅镀于所述板芯基片(2)表面的高效吸收膜(3)；所述高效吸收膜(3)包括：结合层(31)、辅助吸收层(32)、低发射层(33)、高吸收层(34)、减反保护层(35)；所述结合层(31)溅镀于所述板芯基片(2)上；所述辅助吸收层(32)溅镀于所述结合层(31)上；所述低发射层(33)溅镀于所述辅助吸收层(32)上；所述高吸收层(34)溅镀于所述低发射层(33)上；所述减反保护层(35)溅镀于所述高吸收层(34)上；所述高吸收层(34)由SiTiAlNx组成，其四种元素的原子比为1：0.5～1：0.5～2：1～2。