[实用新型]MEMS芯片以及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201720465993.9 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN207072807U | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 邱冠勳;蔡孟锦;宋青林 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京太合九思知识产权代理有限公司11610 | 代理人： | 刘戈 |
| 地址： | 261031 山东省潍坊*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种MEMS芯片以及MEMS麦克风，其中MEMS芯片包括设有进声孔的基板；设于所述基板上方且与所述基板绝缘的第一背极板和第二背极板；设于所述第一背极板与所述第二背极板之间的背极加强柱；以及固设于所述第一背极板与所述第二背极板之间的振膜；其中，所述第一背极板与所述第二背极板之间设有背极加强柱。本实用新型可以增加MEMS芯片的整体刚性与机械结构特性，有效降低了外力冲击时振膜破裂的风险。 | ||
| 搜索关键词： | mems 芯片 以及 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS芯片，其特征在于，包括：设有进声孔的基板；设于所述基板上方且与所述基板绝缘的第一背极板和第二背极板；设于所述第一背极板与所述第二背极板之间的背极加强柱；以及固设于所述第一背极板与所述第二背极板之间的振膜。
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