[实用新型]一种监测激光烧蚀效率的声学装置有效
| 申请号： | 201720558930.8 | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN207007776U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 齐婧;张思齐;汤伟冲 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学(北京) |
| 主分类号： | G01N29/032 | 分类号： | G01N29/032 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)11348 | 代理人： | 侯蔚寰 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种监测激光烧蚀效率的声学装置，包括激光器、全反镜、示波器、麦克风、容器、聚焦镜和衰减片，所述全反镜倾斜安装于激光器的正前方，且激光器的光源发射口与全反镜的中部处于同一水平位置；所述衰减片安装有全反镜的正下方，且全反镜的中部与衰减片的中部处于同一垂线上；所述聚焦镜和容器从上到下依次设置在衰减片的正下方，且容器的内腔底部设置有烧蚀靶材；所述烧蚀靶材的中部与聚焦镜的中部处于同一垂线上；本实用新型监测激光烧蚀效率的声学装置，采用麦克风直接采集激光烧蚀产生的声音信号来实时监测烧蚀过程中产生的烧蚀压力，以及激光烧蚀效率。该方法操作简单，数据可靠，而且实现了实时监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监测 激光 效率 声学 装置 | ||
【主权项】：
一种监测激光烧蚀效率的声学装置，包括激光器（1）、全反镜（2）、示波器（3）、麦克风（4）、容器（5）、聚焦镜（6）和衰减片（7），其特征在于：所述全反镜（2）倾斜安装于激光器（1）的正前方，且激光器（1）的光源发射口与全反镜（2）的中部处于同一水平位置；所述衰减片（7）安装有全反镜（2）的正下方，且全反镜（2）的中部与衰减片（7）的中部处于同一垂线上；所述聚焦镜（6）和容器（5）从上到下依次设置在衰减片（7）的正下方，且容器（5）的内腔底部设置有烧蚀靶材（8）；所述烧蚀靶材（8）的中部与聚焦镜（6）的中部处于同一垂线上；所述麦克风（4）设置在容器（5）开口的边缘处，且麦克风（4）通过导线（9）与示波器（3）电性连接。
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