[实用新型]刀具表面连续镀膜装置

摘要

本实用新型涉及一种刀具表面连读镀膜装置，包括成直线式连续排列的多个真空室；按照镀膜工艺流程顺序，所述的多个真空室依次为预处理室、镀膜室、出样室。三个真空室之间有插板阀系统可以实现真空室间的保持密封隔离与相通；个真空室在中心处都设置有卡簧装置，是工件转盘在此真空室的固定转动中心，完成工艺流程。各个真空室内部的卡簧系统用于支撑工件支架和保持工作时旋转，卡簧系统由真空室外电机控制旋转，与电机的连接通过磁流体来保证密封效果。本实用新型具有镀膜效果好，镀膜效率高的特点，非常适宜于工业化生产。

主权项

1.一种刀具表面连续镀膜装置，其特征在于：它包括两组滑杆和至少三个真空室，分别为预处理室、镀膜室和出样室；预处理室的外侧为工件转盘的进口，内侧设有插板阀系统，预处理室的真空壁上安装有加热系统、底部设有抽真空系统以及进气口；镀膜室的两侧分别设有插板阀系统，镀膜室的真空壁上安装有加热系统和镀膜靶材、底部设有抽真空系统以及进气口；出样室的内侧为插板阀系统，外侧为工件转盘的出口，出样室的真空壁上安装有冷却系统、底部设有抽真空系统和进气口；三个真空室通过插板阀系统的开启和关闭实现三个真空室间的密封隔离和密封相通，所述插板阀系统上均设有高温密封系统；两组滑杆设于三个真空室内的底部并贯穿三个真空室，两组滑杆的一端位于预处理室的进口并分别通过电机驱动，每个真空室的中心处均设有卡簧，工件转盘底部中心穿过滑杆并通过滑杆的转动带动工件转盘向前运动到卡簧位置，卡簧支撑工具转盘并带动其旋转。