[实用新型]激光除胶设备

摘要

一种激光除胶设备，包括除胶装置和与该除胶装置协同工作的自动光学检测装置，除胶装置包括激光器和吸附管，激光器的镜头和吸附管的吸附口聚拢到一起，自动光学检测装置包括探测镜头。本实用新型提供的激光除胶设备，通过在激光器周围环绕设置多个吸附管，在激光器发出激光对掩膜版上的胶体进行软化的同时，该多个吸附管同步吸附被软化的胶体，使得软化后的胶体迅速脱离掩膜版。这样，胶体在激光照射和吸附管的抽力吸附的共同作用下，可被容易地去除，进而减小了修复掩膜版的工作量。此外，吸附管的抽力吸附还可以避免被激光软化后的胶体在掩膜版上发生位置转移而需要激光器多次照射的情况，从而提高了生产效率。

主权项

一种激光除胶设备，其特征在于，包括除胶装置(10)，所述除胶装置(10)包括激光器(12)和吸附管(13)，所述激光器(12)的镜头和所述吸附管(13)的吸附口聚拢到一起。