[实用新型]一种不规则半导体材料破碎装置

摘要

本实用新型公开了一种不规则半导体材料破碎装置，涉及材料破碎领域，该装置包括处理室、高压脉冲发生器和电极组件，处理室中放置有向上开口的破碎容器，破碎容器用于盛放待破碎的不规则半导体材料，高压脉冲发生器电性连接电极组件，电极组件设置于破碎容器上方，高压脉冲发生器用于通过电极组件向待破碎的不规则半导体材料发送高压脉冲信号，该装置可以实现通过高压脉冲信号破碎半导体材料且本实用新型中的电极组件的分布电感较低，可以有效提高放电效率，因此破碎效率较高，同时破碎操作在工艺流体中进行，有效避免半导体材料被污染。

主权项

一种不规则半导体材料破碎装置，其特征在于，所述装置包括：处理室、高压脉冲发生器和电极组件，所述处理室中放置有向上开口的破碎容器，所述破碎容器用于盛放待破碎的不规则半导体材料，所述高压脉冲发生器电性连接所述电极组件，所述电极组件设置于所述破碎容器上方，所述高压脉冲发生器用于通过所述电极组件向待破碎的不规则半导体材料发送高压脉冲信号；所述处理室中填充有工艺流体，所述破碎容器、所述电极组件中的电极头以及待破碎的不规则半导体材料均浸没在所述工艺流体中；所述电极组件包括中心电极、两个侧接地极、中心电极头、接地电极头和支撑绝缘体，所述中心电极设置在所述支撑绝缘体内部，所述两个侧接地极分别设置在所述支撑绝缘体的外部两侧且与所述中心电极相绝缘，所述中心电极的一端电性连接所述高压脉冲发生器，另一端电性连接所述中心电极头，所述中心电极头垂直向下朝向所述破碎容器设置，所述接地电极头与所述中心电极头对向设置且与所述中心电极头之间存在放电间隙，所述接地电极头通过金属连接杆连接至所述两个侧接地极。