[实用新型]一种光配向曝光设备有效
申请号: | 201720608524.8 | 申请日: | 2017-05-27 |
公开(公告)号: | CN206773355U | 公开(公告)日: | 2017-12-19 |
发明(设计)人: | 何方;顾葆华;赵辉;蔡晴;朱璨 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人: | 李倩 |
地址: | 210033 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光配向曝光设备,与曝光方向垂直的方向上设有相互平行的至少两个灯箱,每个所述箱体内设置有上下两排相互对应的灯管,每排设有等间距排列的多个灯管,每个灯管呈平行四边形;每个灯管上下两个平行边与曝光方向垂直,每个灯管左右两个平行边与曝光方向呈一定角度的夹角。本实用新型光配向曝光设备通过将各排灯管的形状进行调整,有效避免了基板固定位置长时间在明暗存在差异的环境中曝光,改善了光配向产品因设备灯源间的间距而导致的曝光不均产生横纵条纹mura的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 曝光 设备 | ||
【主权项】:
一种光配向曝光设备,其特征在于:与曝光方向垂直的方向上设有相互平行的至少两个灯箱,每个所述灯箱内设置有上下两排相互对应的灯管,每排设有等间距排列的多个灯管,每个灯管呈平行四边形;每个灯管上下两个平行边与曝光方向垂直,每个灯管左右两个平行边与曝光方向呈一定角度的夹角。
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