[实用新型]一种单晶硅片的清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅片的清洗装置，包括底座和U型框，所述底座上端固定连接U型框的一端，所述U型框的一侧壁贯通插接有进水管的一端，U型框的另一侧壁贯通插接有出水管的一端，此单晶硅片的清洗装置结构简单，通过加入紫外线灯、电阻丝和凸轮的组合结构，利用紫外线灯的旋转照射，对单晶硅片进行灭菌，再利用凸轮的偏心转而引起的震动，加深乙醇溶液与单晶硅片之间的接触，加大清洗力度，最后利用电阻丝对乙醇溶液进行加热，使有机杂质分子更易融进乙醇溶液，进一步加大了清洁效果，同时，利用紫外线灯、电阻丝和风机，对单晶硅片起到烘干、灭菌的作用，实现清洁、干燥的一体化设置。

主权项

一种单晶硅片的清洗装置，包括底座（1）和U型框（2），所述底座（1）上端固定连接U型框（2）的一端，所述U型框（2）的一侧壁贯通插接有进水管（3）的一端，U型框（2）的另一侧壁贯通插接有出水管（4）的一端，其特征在于：所述U型框（2）的侧壁为中空结构，U型框（2）的内壁上固定连接有硅片放置盒（18），硅片放置盒（18）的侧壁上开设有通孔，且U型框（2）的两侧壁上开设的导轨槽中滑动插接有盖板（5）的两端，所述盖板（5）为中空结构，盖板（5）空腔内壁转动连接有第二固定轴（12）的一端，第二固定轴（12）上固定套接有第二轮盘（81），所述第二轮盘（81）通过传动带（13）与第一轮盘（8）连接，所述第一轮盘（8）固定套接在第一固定轴（11）上，第一固定轴（11）的一端贯穿盖板（5）的上端并与第一电机（7）上的第一转轴连接，第一电机（7）通过第一支撑杆（16）固定在盖板（5）的上端上，所述第一固定轴（11）和第二固定轴（12）的另一端均贯穿盖板（5）的下端并与紫外线灯（9）连接。