[实用新型]晶圆盒气体交换设备

摘要

一种晶圆盒气体交换设备，其包含固定平台、旋转机构、承载座及至少一导轮。旋转机构设置于固定平台。承载座设置于固定平台，且承载座与旋转机构相连接，而旋转机构能使承载座相对于固定平台旋转，承载座用以承载晶圆盒。导轮设置于固定平台，导轮的外缘具有环状导槽。进气管及出气管的部分区段能设置于环状导槽中；当旋转机构带动承载座旋转时，进气管及出气管能受导轮的导引，而稳定地对晶圆盒的内部空间进行气体交换作业。

主权项

一种晶圆盒气体交换设备，其特征在于，所述晶圆盒气体交换设备包含：一固定平台；一旋转机构，其设置于所述固定平台；一承载座，其设置于所述固定平台，且所述承载座与所述旋转机构相连接，而所述旋转机构能使所述承载座相对于所述固定平台旋转，所述承载座用以承载一晶圆盒，所述承载座包含有多个气体导引组件，所述气体导引组件用以与一进气管的一端及一出气管的一端相连接，且所述气体导引组件、所述进气管及所述出气管能相互配合，而对所述晶圆盒的内部空间进行气体交换作业；以及至少一导轮，其设置于所述固定平台，所述导轮的外缘具有一环状导槽，所述环状导槽用以提供所述进气管及所述出气管设置；其中，当所述旋转机构带动所述承载座旋转时，所述进气管及所述出气管能受所述导轮的导引，而稳定地对所述晶圆盒的内部空间进行气体交换作业。