[实用新型]镀膜治具及镀膜设备有效
申请号: | 201720701919.2 | 申请日: | 2017-06-15 |
公开(公告)号: | CN206940978U | 公开(公告)日: | 2018-01-30 |
发明(设计)人: | 徐峥 | 申请(专利权)人: | 南阳凯鑫光电股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/34 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 金相允 |
地址: | 473000 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型涉及镀膜的技术领域,尤其是涉及一种镀膜治具及镀膜设备,该镀膜治具包括镀膜板和夹具组;夹具组包括若干个固定夹板组件和若干个移动夹板组件,若干个固定夹板组件与若干个移动夹板组件共同在镀膜板上形成至少一个可调节的安装区域;安装区域用于放置基片,且固定夹板组件和移动夹板组件分别加紧对应的基片的棱角。解决了现有镀膜治具安装基片不方便的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 设备 | ||
【主权项】:
一种镀膜治具,其特征在于,包括:镀膜板和夹具组;所述夹具组包括:若干个固定夹板组件和若干个移动夹板组件,若干个所述固定夹板组件与若干个所述移动夹板组件共同在所述镀膜板上形成至少一个可调节的安装区域;所述安装区域用于放置基片,且所述固定夹板组件和移动夹板组件分别加紧对应的所述基片的棱角。
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