[实用新型]一种用于搬运晶圆盒的移动机器人

摘要

本实用新型涉及一种用于搬运晶圆盒的移动机器人，包括机器人本体、载物台、机械臂以及机械手,加工设备上每个晶圆盒放置位设有定位结构,机器人本体为全自主移动机器人，包括第一障碍物探测单元、定位结构检测单元、晶圆盒检测单元、控制单元以及行走单元，第一障碍物探测单元设于机器人本体的前，后位置，定位结构检测单元设于机械手上，晶圆盒检测传感器设于载物台上每个晶圆盒放置位上,机械臂为轻型机械臂。在全自主移动机器人上集成轻型机械臂，完成晶圆盒取放和运输工作，实现全自动化生产。本产品稳定可靠，路线灵活，占用空间小，能根据产线需求，及时响应。

主权项

一种用于搬运晶圆盒的移动机器人，包括机器人本体、设于所述机器人本体上的载物台、设于所述载物台上的机械臂以及连接在所述机械臂末端的机械手，其特征在于：加工设备上每个晶圆盒放置位设有定位结构；所述机器人本体为全自主移动机器人，包括第一障碍物探测单元、定位结构检测单元、晶圆盒检测单元、控制单元以及行走单元，所述第一障碍物探测单元设于所述机器人本体的前，后位置，所述定位结构检测单元设于所述机械手上，所述晶圆盒检测传感器设于所述载物台上每个晶圆盒放置位上，所述控制单元的输入端连接所述第一障碍物探测单元、所述定位结构检测单元以及所述晶圆盒检测单元，所述控制单元的输出端连接所述行走单元和所述机械臂；所述机械臂为轻型机械臂。