[实用新型]晶圆测试台有效

专利信息
申请号: 201720738247.2 申请日: 2017-06-22
公开(公告)号: CN206931569U 公开(公告)日: 2018-01-26
发明(设计)人: 吴俊;熊强;袁志伟 申请(专利权)人: 珠海市中芯集成电路有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/66
代理公司: 珠海智专专利商标代理有限公司44262 代理人: 黄国豪
地址: 519000 广东省珠海市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供一种晶圆测试台,该测试台包括底板,底板上设置有转动盘,转动盘内设置有丝杆,丝杆的延伸方向相互垂直,转动盘上设置有放置盘,放置盘内设置有凸起块,丝杆与凸起块邻接,放置盘的端面设置有吸附槽,转动盘与放置盘内均贯穿有真空管,真空管与吸附槽连通,底板上设置有连杆,连杆的第一端连接第一转动杆,连杆的第二端邻接真空管,转动盘的两侧均设置有固定架,放置盘设置在固定架之间,采用以上结构,通过晶圆测试台的多维度自由调节,保证晶圆测试的位置与角度,并且在辅助焊接探针的过程中,探针能够准确接触晶圆上的芯片,保证芯片测试的精准度以及探针焊接位置的精准度。
搜索关键词: 测试
【主权项】:
晶圆测试台,其特征在于,包括:底板,所述底板上设置有第一通孔、第二通孔;转动盘,所述转动盘可旋转地设置在所述底板上,所述转动盘上设置有第三通孔,所述转动盘内设置有两根丝杆,两根所述丝杆的延伸方向相互垂直;放置盘,所述放置盘可旋转地设置在所述转动盘上,所述放置盘靠近所述转动盘的一面设有开孔,沿所述开孔的边缘设置有凸起块,所述丝杆与所述凸起块邻接,所述放置盘的端面设置有吸附槽,所述开孔、所述第一通孔与所述第三通孔相互连通,所述开孔、所述第一通孔与所述第三通孔内均贯穿有真空管,所述真空管与所述吸附槽连通;所述底板远离所述转动盘的一面设置有连杆,所述连杆的第一端连接第一转动杆,所述第一转动杆贯穿所述第二通孔,所述连杆的第二端邻接所述真空管;所述转动盘的两侧均设置有固定架,所述放置盘设置在所述固定架之间。
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