[实用新型]ITO圆筒靶材磨外圆夹持工装有效
申请号: | 201720748867.4 | 申请日: | 2017-06-26 |
公开(公告)号: | CN207255856U | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
发明(设计)人: | 曾探;石煜;王志强 | 申请(专利权)人: | 芜湖映日科技有限公司 |
主分类号: | B24B5/04 | 分类号: | B24B5/04;B24B41/06 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司32243 | 代理人: | 胡定华 |
地址: | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型提供一种ITO圆筒靶材磨外圆夹持工装,包括支撑轴杆,所述支撑轴杆上设置有支撑块,所述支撑轴杆两端设置有固定卡盘,所述支撑块两端设置有倒锥形的旋转调整块,通过旋转调整块对支撑块的外圆半径进行调整,所述旋转调整块上设置有固定卡块。通过支撑轴杆进行支撑并安装在打磨机转动杆上,通过支撑块对ITO圆筒靶材进行支撑,并由旋转调整块对支撑块的外圆直径大小进行调节,使其保证ITO圆筒靶材的外圆直径,提高ITO圆筒靶材的外圆研磨精度,并通过凹陷内设置的硅胶圈对ITO圆筒靶材进行缓冲保护,避免损坏ITO圆筒靶材。 | ||
搜索关键词: | ito 圆筒 靶材磨外圆 夹持 工装 | ||
【主权项】:
一种ITO圆筒靶材磨外圆夹持工装,包括支撑轴杆(1),所述支撑轴杆(1)上设置有支撑块(2),所述支撑轴杆(1)两端设置有固定卡盘(3),其特征在于:所述支撑块(2)两端设置有倒锥形的旋转调整块(4),通过旋转调整块(4)对支撑块(2)的外圆半径进行调整,所述旋转调整块(4)上设置有固定卡块(5)。
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