[实用新型]一种防护工具

摘要

本实用新型公开了一种防护工具，属于半导体制造技术领域，适用于在维护化学气相沉积设备时保护静电吸盘，所述化学气相沉积设备包括静电吸盘基座，所述静电吸盘设置于所述静电吸盘基座内，所述静电吸盘基座具有向上的圆形的开口；所述防护工具包括一圆盘状的盖体，所述盖体包括至少一个定位结构，用以扣合于所述静电吸盘基座上并封盖所述开口。上述技术方案的有益效果是上述防护工具可以在对干法刻蚀设备进行维护时，可以全面覆盖静电吸盘表面，有效避免在维护过程中损坏或污染静电吸盘，提高维护效率。

主权项

一种防护工具，适用于在维护化学气相沉积设备时保护静电吸盘，所述化学气相沉积设备包括静电吸盘基座，所述静电吸盘设置于所述静电吸盘基座内，其特征在于，所述静电吸盘基座具有向上的圆形的开口；所述防护工具包括一圆盘状的盖体，所述盖体包括至少一个定位结构，用以扣合于所述静电吸盘基座上并封盖所述开口。