[实用新型]应用于涂胶设备的吸盘装置及涂胶设备有效
| 申请号： | 201720751177.4 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN206991020U | 公开（公告）日： | 2018-02-09 |
| 发明（设计）人： | 黄寓洋 | 申请（专利权）人： | 苏州苏纳光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种应用于涂胶设备的吸盘装置及涂胶设备，所述应用于涂胶设备的吸盘装置具有沿轴向贯穿所述吸盘装置的真空吸孔，所述真空吸孔与真空发生设备连通，所述吸盘装置的上端面用以承载芯片，所述吸盘装置上端具有台阶形结构，其中上台阶面形成有一个以上环形凹槽，所述环形凹槽与所述上台阶面承载的芯片及真空吸孔同轴设置，同时所述环形凹槽还与真空吸孔连通。本实用新型提供的应用于涂胶设备的吸盘装置结构简单，使用方便；与原有涂胶设备兼容性强，可以承载小尺寸芯片，提高新产品研发过程中原材料的利用率，进而节约研发成本。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 涂胶 设备 吸盘 装置 | ||
【主权项】：
一种应用于涂胶设备的吸盘装置，具有沿轴向贯穿所述吸盘装置的真空吸孔，所述真空吸孔与真空发生设备连通，所述吸盘装置的上端面用以承载芯片，其特征在于：所述吸盘装置上端具有台阶形结构，其中上台阶面形成有一个以上环形凹槽，所述环形凹槽与所述上台阶面承载的芯片及真空吸孔同轴设置，同时所述环形凹槽还与真空吸孔连通。
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