[实用新型]电连接件及等离子体产生装置有效
| 申请号： | 201720763041.5 | 申请日： | 2017-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN207338661U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 郑友山 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01R4/48 | 分类号： | H01R4/48;H01J37/30 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种电连接件，用于使第一连接柱和第二连接柱电连接，包括本体，所述本体上设置有第一孔，且在所述第一孔的侧壁上设置有用于放置第一弹性件的第一凹部，所述第一连接柱可插入所述第一孔内和自所述第一孔内拔出，在所述第一连接柱插入所述第一孔内时所述第一弹性件被压缩在所述第一连接柱和所述第一凹部之间，从而固定所述第一连接柱；所述第二连接柱与所述本体电连接；所述第一弹性件与所述第一连接柱和所述本体电连接。还提供一种等离子体产生装置。在反应腔室维护时可以快速地打开腔体，从而可以提高反应腔室的安装和维护效率。 | ||
| 搜索关键词： | 连接 等离子体 产生 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电连接件，用于使第一连接柱和第二连接柱电连接；其特征在于，包括本体，所述本体上设置有第一孔，且在所述第一孔的侧壁上设置有用于放置第一弹性件的第一凹部，所述第一连接柱可插入所述第一孔内和自所述第一孔内拔出，在所述第一连接柱插入所述第一孔内时所述第一弹性件被压缩在所述第一连接柱和所述第一凹部之间，从而固定所述第一连接柱；所述第二连接柱与所述本体电连接；所述第一弹性件与所述第一连接柱和所述本体电连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720763041.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电缆沟盖板的撬运工具
- 下一篇：一种可移动配电柜
