[实用新型]一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机

摘要

本实用新型公开了一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括固定底座，所述固定底座的内部一侧设置有蓄电池，所述蓄电池的一侧设置有液压泵，所述液压泵的一侧设置有液压油箱，所述固定底座的一侧设置有急停开关，所述液压缸的两侧对称设置有支撑柱，所述液压缸的上方安装有伸缩杆，所述伸缩杆的上方设置有第二滑杆，所述第二滑杆的上方安装有下固定夹具，所述下固定夹具的上方设置有上固定夹具，本实用新型设置了通过转轴分别安装用于做推力实验和拉力实验的夹台，可以根据测试的需要来通过调节旋钮进行调节，不需要更换夹台，使用更加方便，节省了人力，设置了润滑油箱和电磁阀，可以通过KS02Y控制器控制电磁阀开关对支撑柱进行润滑加油。

主权项

一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括固定底座（14），其特征在于：所述固定底座（14）的内部一侧设置有蓄电池（17），所述蓄电池（17）的一侧设置有液压泵（16），所述液压泵（16）的一侧设置有液压油箱（15），所述固定底座（14）的一侧设置有急停开关（13），且固定底座（14）上方中间位置处设置有液压缸（12），所述液压缸（12）的两侧对称设置有支撑柱（1），且液压缸（12）通过液压油管（18）与液压泵（16）连接，所述液压缸（12）的上方安装有伸缩杆（19），所述伸缩杆（19）的上方设置有第二滑杆（11），所述第二滑杆（11）的上方安装有下固定夹具（10），所述下固定夹具（10）的上方设置有上固定夹具（3），所述上固定夹具（3）通过安装座（4）和连接杆（5）与第一滑杆（2）固定连接，所述第一滑杆（2）的上方中间位置处设置有润滑油箱（6），所述润滑油箱（6）的两侧对称设置有润滑油管（8），所述润滑油管（8）上安装有电磁阀（7），其中一个所述支撑柱（1）的一侧安装有KS02Y控制器（9），所述上固定夹具（3）包括有压力台（31）、PTS403压力传感器（32）、夹具本体（33）、固定板（34）、DEE拉力传感器（35）、固定柱（36）、调节手柄（37）、调节旋钮（38）和转轴（39），所述夹具本体（33）上通过调节旋钮（38）转动连接有转轴（39），所述转轴（39）的上方设置有PTS403压力传感器（32），所述PTS403压力传感器（32）的上方设置有压力台（31），所述转轴（39）的下方设置有固定板（34），且固定板（34）与转轴（39）的连接位置处设置有DEE拉力传感器（35），所述固定板（34）的两侧对称设置有固定柱（36），所述固定柱（36）的一侧安装有调节手柄（37），所述PTS403压力传感器（32）、DEE拉力传感器（35）、电磁阀（7）、急停开关（13）和液压泵（16）均与KS02Y控制器（9）电性连接。