[实用新型]一种显影设备有效
| 申请号： | 201720794552.3 | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN206930898U | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 梁新顺;张涛;马雏雏;韩锦伟;霍学兵;刘宸 | 申请（专利权）人： | 阜阳欣奕华材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 236000 安徽省阜阳市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种显影设备，用以实现基板均匀稳定显影，满足光刻胶基板高分辨率、高透过率、低膜厚的要求。本申请提供的一种显影设备包括用于固定需要喷涂显影液的基板的固定装置，以及与固定装置相对设置、用于向基板喷涂显影液的喷涂装置，其中，喷涂装置在喷涂显影液过程中在平行于基板的面上按照预设方式移动，使得显影液均匀喷涂在基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 设备 | ||
【主权项】：
一种显影设备，其特征在于：包括用于固定需要喷涂显影液的基板的固定装置，以及与所述固定装置相对设置、用于向所述基板喷涂显影液的喷涂装置，其中，所述喷涂装置在喷涂显影液过程中在平行于所述基板的面上按照预设方式移动，使得显影液均匀喷涂在所述基板上。
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