[实用新型]一种薄膜生产设备用低温超导磁体

摘要

本实用新型公开了一种薄膜生产设备用低温超导磁体,包括装置本体，在装置本体的中间装有中磁性条形磁体，中磁性条形磁体的上下两端凸出上固定板、下固定板，在中磁性条形磁体的四周装有环状第一杜瓦容器、第二杜瓦容器，在第二杜瓦容器的外层装有电磁屏蔽线圈、第三杜瓦容器、保护层，在杜瓦容器、电磁线圈屏蔽层上下装有上固定板、下固定板，在第二杜瓦容器的上端装有液态氦注入口，在液态氦主入口的上端装有微型制冷机，本实用新型结构设计合理，通过液态氦的降温使中磁性条形磁体保持一种超导状态，通过电磁屏蔽线圈防止内外的电磁干扰。

主权项

一种薄膜生产设备用低温超导磁体，包括装置本体（4），其特征在于：所述装置本体（4）的中间设有中磁性条形磁体（5），所述中磁性条形磁体（5）的外侧设有第一杜瓦容器（6），所述第一杜瓦容器（6）的外侧设有第二杜瓦容器（3），所述第二杜瓦容器（3）的外侧设有电磁屏蔽线圈（2），所述电磁屏蔽线圈（2）的外侧设有第三杜瓦容器（1）、第三杜瓦容器（1）的外侧设有保护层（12），所述第一杜瓦容器（6）、第二杜瓦容器（3）、电磁屏蔽线圈（2）、第三杜瓦容器（1）、保护层（12）的上端设有上固定板（7），所述第一杜瓦容器（6）、第二杜瓦容器（3）、电磁屏蔽线圈（2）、第三杜瓦容器（1）、保护层（12）的下方设有下固定板（10）。