[实用新型]一种硅片花篮的提升装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片花篮的提升装置，包括升降构件和平移构件，升降构件包括升降台、直线模组和伺服电机，直线模组包括竖直设置的导轨，导轨前侧竖直安装有丝杆，丝杆上活动安装有滑块，升降台安装在滑块上，伺服电机安装在导轨的顶端；平移构件包括花篮支架、输送皮带和步进电机，花篮支架安装在升降台上，输送皮带安装在花篮支架内，步进电机安装在花篮支架的底部，步进电机通过步进电机皮带与输送皮带相连；花篮支架的顶部安装有花篮压紧组件。本实用新型具有用于提升花篮的升降机构和用于传递花篮的平移机构，完成上下方位设置的空花篮输送皮带和满花篮输送皮带直接的花篮运输，该装置结构简单，使用方便，效果好，提高了硅片花篮的装配效率。

主权项

一种硅片花篮的提升装置，其特征在于：包括升降构件和平移构件，所述升降构件包括升降台、直线模组和伺服电机，所述直线模组包括竖直设置的导轨，所述导轨的前侧竖直安装有丝杆，所述丝杆上活动安装有滑块，所述升降台安装在所述滑块上，所述伺服电机安装在所述导轨的顶端；所述平移构件包括花篮支架、输送皮带和步进电机，所述花篮支架安装在所述升降台上，所述输送皮带安装在所述花篮支架内，所述步进电机安装在所述花篮支架的底部，所述步进电机通过步进电机皮带与所述输送皮带相连；所述花篮支架的顶部安装有花篮压紧组件，所述花篮压紧组件包括压紧板，所述压紧板上安装有压紧气缸，所述压紧气缸与所述花篮支架的顶部相连。