[实用新型]一种管式PECVD结构

摘要

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，公开了一种管式PECVD结构，包括单向阀，单向阀包括阀体和活塞组件，阀体的一端口与管式PECVD的炉管相连通，另一端口与连接有真空泵的连接管相连通，炉管的连接阀体的端口位于活塞组件的底部、连接管的连接阀体的端口位于活塞组件的侧部，以使活塞组件将炉管和连接管隔开；当炉管中的气体压强大于连接管中的气体压强时，炉管中的气体能够推动活塞组件向上运动，以使炉管和连接管连通，气体由炉管流入连接管内。本实用新型提出的管式PECVD结构，当炉管中的气体压强大于连接管中的气体压强时，炉管中的气体能够推动活塞组件向上运动，使炉管内气体只能沿着真空泵抽气方向抽离，不会出现连接管内气体回流的情况。

主权项

1.一种管式PECVD结构，其特征在于，包括单向阀(1)，所述单向阀(1)包括阀体(11)和设置于所述阀体(11)内的活塞组件(12)，所述阀体(11)的一端口与所述管式PECVD结构的炉管(2)相连通，另一端口与连接有真空泵的连接管(3)相连通，所述炉管(2)的连接所述阀体(11)的端口位于所述活塞组件(12)的底部、所述连接管(3)的连接所述阀体(11)的端口位于所述活塞组件(12)的侧部，以使所述活塞组件(12)将所述炉管(2)和所述连接管(3)隔开；当所述炉管(2)中的气体压强大于所述连接管(3)中的气体压强时，所述炉管(2)中的气体能够推动所述活塞组件(12)向上运动，以使所述炉管(2)和所述连接管(3)连通，气体由所述炉管(2)流入所述连接管(3)内。