[实用新型]一种简易晶体薄膜生长装置有效
| 申请号： | 201720887613.0 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN207537529U | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 李春跃;冯大伟;卢栋;李连和;缪振山;廖芬;石细华 | 申请（专利权）人： | 广东宁源科技园发展有限公司;广东工商职业学院 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/24;C30B23/00;C30B29/64 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 吴静芝 |
| 地址： | 526238 广东省肇庆*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种简易晶体薄膜生长装置。本实用新型所述简易晶体薄膜生长装置，包括绝热底座、平板加热台、精细螺纹擎台杆、生长台和温控仪。所述平板加热台设置在所述绝热底座上，所述精细螺纹擎台杆竖直设置绝热底座上并与所述平板加热台相邻，所述生长台设置在所述平板加热台的上方，所述生长台的高度可调节，所述温控仪与所述平板加热台电性连接。所述的简易晶体薄膜生长装置，可精确控制晶体薄膜生长的距离，减少空气分子对蒸发或升华的材料分子的影响，无需在真空条件或纯气体环境下进行晶体薄膜的生长，并可通过温控仪调节升降温程序及生长温度。特别适用于随温度降低可实现固‑气‑液‑固三态转变的材料的生长，装置简单、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体薄膜 加热台 生长装置 生长 绝热 温控仪 简易 底座 本实用新型 精细螺纹 台杆 高度可调节 薄膜生长 材料分子 电性连接 空气分子 控制晶体 竖直设置 温度降低 真空条件 纯气体 三态 升降 蒸发 升华 | ||
【主权项】：
1.一种简易晶体薄膜生长装置，其特征在于：包括绝热底座、平板加热台、精细螺纹擎台杆、生长台和温控仪，所述平板加热台设置在所述绝热底座上，所述精细螺纹擎台杆竖直设置绝热底座上并与所述平板加热台相邻，所述生长台设置在所述平板加热台的上方，所述生长台与平板加热台的距离可调节，所述温控仪与所述平板加热台电性连接。
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