[实用新型]一种用于光刻机的顶销吸附平台有效
| 申请号： | 201720895756.6 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN207224925U | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 周朝渊;张世龙;唐守杰 | 申请（专利权）人： | 雅科贝思精密机电（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B44B1/06 | 分类号： | B44B1/06;B44B3/06 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区川*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于光刻机的顶销吸附平台，包括吸附平台，吸附平台上均匀设置有若干第一通孔，吸附平台的下方设置有顶销连接平台，顶销连接平台的上端面均匀设置有若干顶销，每个顶销对应一个第一通孔，顶销的端部设置有吸盘或支撑球；顶销连接平台的中部螺纹连接有滚珠丝杠，滚珠丝杠的下端连接有直驱旋转电机。本实用新型提供的用于光刻机的顶销吸附平台，采用直驱电机，机械响应快，同时性好，能够实现任意位置定位，同时采用导轨支撑，稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 吸附 平台 | ||
【主权项】：
一种用于光刻机的顶销吸附平台，其特征在于：包括吸附平台，所述吸附平台上均匀设置有若干第一通孔，所述吸附平台的下方设置有顶销连接平台，所述顶销连接平台的上端面均匀设置有若干顶销，每个所述顶销对应一个所述第一通孔，所述顶销的端部设置有吸盘或支撑球；所述顶销连接平台的中部螺纹连接有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠的下端连接有直驱旋转电机。
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