[实用新型]等离子蚀刻腔负极板固定结构

摘要

本实用新型公开了一种等离子蚀刻腔负极板固定结构，包括通过连接螺栓相互连接的负极板和安装板，安装板上开设有通孔，负极板正对通孔的位置开设有纵向截面呈“工”字型的基孔，基孔的上端敞口，下端与负极板底壁之间留有间隙；基孔内嵌设有圆柱状的螺母座，其纵向截面呈“T”字型，螺母座下端端部连接有堵头螺栓，堵头螺帽竖直朝上，其栓帽的上端面与基孔的下安装腔的上壁抵接；连接螺栓从安装板上侧向下穿过通孔后，与螺母座螺纹连接。避免连接结构的组件暴露在蚀刻腔的内部反应气体中，防止受到腐蚀，相对延长了使用寿命，对螺母座周向和轴向同时固定，减少其振动偏移，进一步提高蚀刻质量，提高装置可靠性和稳定性，具有极大的实用价值。

主权项

一种等离子蚀刻腔负极板固定结构，包括通过连接螺栓(5)相互连接的负极板(1)和安装板(2)，负极板(1)位于安装板(2)的下方，安装板(2)上开设有通孔(20)，其特征在于：所述负极板(1)正对通孔(20)的位置开设有纵向截面呈“工”字型的基孔(10)，基孔(10)的上端敞口，下端与负极板(1)底壁之间留有间隙；所述基孔(10)包括水平设置的上安装腔(100)、下安装腔(102)以及竖直地连接在该上安装腔(100)和下安装腔(102)之间的中间安装腔(101)，基孔(10)内嵌设有圆柱状的螺母座(3)，其纵向截面呈“T”字型，并与所述基孔(10)同轴设置，螺母座(3)的上端台阶位于上安装腔(100)内，其下端位于中间安装腔(101)内，该螺母座(3)下端端部连接有堵头螺栓(4)，堵头螺栓(4)竖直朝上，其栓帽(40)的上端面(401)与下安装腔(102)的上壁抵接；所述连接螺栓(5)从安装板(2)上侧向下穿过通孔(20)后，与螺母座(3)螺纹连接。