[实用新型]固晶机吸晶平台有效
申请号: | 201720990815.8 | 申请日: | 2017-08-09 |
公开(公告)号: | CN207009414U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
发明(设计)人: | 孔凡伟;段花山;侯祥浩 | 申请(专利权)人: | 山东晶导微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687 |
代理公司: | 济宁汇景知识产权代理事务所(普通合伙)37254 | 代理人: | 徐国印 |
地址: | 273100 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种固晶机吸晶平台,属于二极管封装技术领域,包括驱动部、基座部、夹持部、紧固部、推顶部,其特征在于,驱动部包括驱动基座部移动的第一驱动部和第二驱动部,基座部包括底座和固定设置在底座上的支撑柱;夹持部夹持盘,夹持盘内沿设置有凸沿,夹持盘通过第一连接块与支撑柱相连接,夹持盘侧端设有缺口,夹持盘端部设置有固定端和活动端,固定端表面设置有第一滑槽,活动端的外侧端面固定设置有第二连接块,第二连接块外端设置有第二滑槽;紧固部包括第三连接块、调节杆,第三连接块与第一滑槽相配合设置,调节杆与第三连接块以铰接的方式相连接;具有操作简便、适用范围广的优点。 | ||
搜索关键词: | 固晶机吸晶 平台 | ||
【主权项】:
固晶机吸晶平台,包括驱动部、基座部、夹持部、紧固部、推顶部(5),其特征在于,驱动部包括驱动基座部移动的第一驱动部(11)和第二驱动部(12),基座部包括底座(21)和固定设置在底座(21)上的支撑柱(22);夹持部包括用于夹持晶片蓝膜的中空的夹持盘(3),夹持盘(3)内沿设置有用于支撑晶片蓝膜的凸沿(31),所述夹持盘(3)通过第一连接块(32)与支撑柱(22)相连接,夹持盘(3)侧端设有缺口,夹持盘(3)端部在缺口两侧设置有固定端(33)和活动端(34),所述固定端(33)表面设置有第一滑槽(331),所述活动端(34)的外侧端面固定设置有第二连接块(341),第二连接块(341)外端设置有第二滑槽(342);紧固部包括第三连接块(41)、调节杆(42),所述第三连接块(41)与第一滑槽(331)相配合设置,所述调节杆(42)与第三连接块(41)以铰接的方式相连接,调节杆(42)的内端与第二滑槽(342)相配合设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造