[实用新型]离子源腔体抽真空初级泵的专用排气过滤器有效
| 申请号： | 201721039592.3 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN207137551U | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 张彤;蔡克亚;李彬;吴鹏鹏;宋家玉;吴学炜;刘聪;王超;王存鑫;赵高岭 | 申请（专利权）人： | 安图实验仪器（郑州）有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D46/24 |
| 代理公司： | 郑州异开专利事务所(普通合伙)41114 | 代理人： | 王霞 |
| 地址： | 450016 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子源腔体抽真空初级泵的专用排气过滤器，包括过滤器本体，过滤器本体包括过滤筒，过滤筒的筒壳左筒口和右筒口分别密封设置有左管堵和右端堵，左管堵的右端面和右管堵的左端面均为凸台结构，凸台的外径小于过滤筒的滤芯内径；滤芯的两端口分别密封套装在对应的凸台外周面，滤芯的外周面与所述筒壳内周面之间构成排气腔；左管堵上开设有进气口和排气口，进气口与滤芯的内腔相连通，排气口与所述排气腔相连通。本实用新型能够有效滤除离子源腔体抽真空初级泵排出的油污和生物碎片，避免了对周围环境的污染，同时也大大降低了初级泵工作时产生的噪声。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 腔体抽 真空 初级 专用 排气 过滤器 | ||
【主权项】：
一种离子源腔体抽真空初级泵的专用排气过滤器，包括过滤器本体，其特征在于：所述过滤器本体包括过滤筒，所述过滤筒的筒壳左筒口和右筒口分别密封设置有左管堵和右端堵，所述左管堵的右端面和右管堵的左端面均为凸台结构，所述凸台的外径小于所述过滤筒的滤芯内径；所述滤芯的两端口分别密封套装在对应的凸台外周面，滤芯的外周面与所述筒壳内周面之间构成排气腔；左管堵上开设有进气口和排气口，所述进气口与滤芯的内腔相连通，所述排气口与所述排气腔相连通。
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