[实用新型]一种真空镀膜生产线

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜生产线，所述生产线包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；入片室、镀膜室、出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；入片室的一端设置有第一真空锁，入片室和镀膜室之间设置有第二真空锁，镀膜室和出片室之间设置有第三真空锁，出片室的一端设置有第四真空锁；镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件。本实用新型真空镀膜生产线减少了大量的真空室、抽气机组和真空锁，并设置可作往复运动的镀膜室工件输送组件，不仅提高了生产效率，而且大大节省了厂房、节约了投资，同时具有显著的节能效果。

主权项

1.一种真空镀膜生产线，其特征在于，包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；所述入片室、所述镀膜室、所述出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；所述入片室的一端设置有第一真空锁，所述入片室和所述镀膜室之间设置有第二真空锁，所述镀膜室和所述出片室之间设置有第三真空锁，所述出片室的一端设置有第四真空锁；所述镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件；所述镀膜室抽气机组包括：与所述镀膜室连接的精抽泵，与所述精抽泵连接的镀膜室罗茨泵，以及与所述镀膜室罗茨泵连接的维持泵；所述镀膜室罗茨泵与所述精抽泵之间设置有前置阀，所述精抽泵与所述镀膜室之间设置有精抽阀。