[实用新型]一种真空电子器件排气节能装置有效
申请号: | 201721101966.X | 申请日: | 2017-08-30 |
公开(公告)号: | CN207217461U | 公开(公告)日: | 2018-04-10 |
发明(设计)人: | 毛经华;曹关平;蔡小华 | 申请(专利权)人: | 江西景光电子有限公司 |
主分类号: | H01J9/385 | 分类号: | H01J9/385 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 333405*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种真空电子器件排气节能装置,包括操作台、扩散泵和机械泵;所述操作台上表面设有固定座,固定座上连接有电子管;所述电子管内设有电极和栅极,电极和栅极电性连接有电极电源;所述电子管通过真空管道连通有冷阱,真空管道与冷阱之间设有超高真空阀;所述冷阱连通有扩散泵,扩散泵连通有机械泵;所述电子管外侧套设有烘烤环,烘烤环内设有高频加热丝。本实用新型通过设有机械泵和扩散泵对电子管进行两级排气,排气效率高;本实用新型设有电极电源,对电机进行通电,增强排气效果;本实用新型设有移动烘烤环,对电子管进行烘烤,烘烤效率高,便于排气,节约能源。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 电子器件 排气 节能 装置 | ||
【主权项】:
一种真空电子器件排气节能装置,包括操作台(1)、扩散泵(8)和机械泵(9);其特征在于,所述操作台(1)上表面设有固定座(4),固定座(4)上连接有电子管(3);所述电子管(3)内设有电极和栅极,电极和栅极电性连接有电极电源(16);所述电子管通过真空管道(5)连通有冷阱(7),真空管道(5)与冷阱(7)之间设有超高真空阀(6);所述冷阱(7)连通有扩散泵(8),扩散泵(8)连通有机械泵(9);所述电子管(3)外侧套设有烘烤环(10),烘烤环(10)内设有高频加热丝(11);所述烘烤环(10)左侧固定连接有滑块(12),滑块(12)滑动连接有支撑板(13);所述滑块(12)套设有丝杆(14),丝杆(14)与滑块(12)螺纹连接;所述丝杆(14)上方连接有驱动电机(15)。
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