[实用新型]一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料有效

专利信息
申请号: 201721113177.8 申请日: 2017-08-31
公开(公告)号: CN207270892U 公开(公告)日: 2018-04-27
发明(设计)人: 李向峰;黄安宁;高豹;曹庆 申请(专利权)人: 安庆市鑫祥瑞环保科技有限公司
主分类号: B01D39/20 分类号: B01D39/20;G03F7/42
代理公司: 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙)34119 代理人: 段晓微,叶美琴
地址: 246000 安徽省安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料,填料主体具有采用多层陶瓷丝网构成的层状结构,陶瓷丝网采用折线编织而成,相邻两层陶瓷丝网间隔设置,填料主体中部设有竖直贯穿的过滤通道,所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段,所述导流段内径从上向下逐渐减小,所述导流段侧壁设有螺旋布置的导流槽。通过上述优化设计的光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料,结构设计优化合理,过滤时光刻胶剥离液沿导流段表面流动,导流槽为光刻胶剥离液提供流动路径,保证光刻胶剥离液经过多次陶瓷丝网进行过滤,最终经过滤液体通过出流段流出,大大提高过滤效果。
搜索关键词: 一种 光刻 剥离 高效 分离 陶瓷 填料
【主权项】:
一种光刻胶剥离液高效分离用陶瓷填料,其特征在于,包括:填料主体(1);填料主体(1)具有采用多层陶瓷丝网(11)构成的层状结构,陶瓷丝网(11)采用折线编织而成,相邻两层陶瓷丝网(11)间隔设置,填料主体(1)中部设有竖直贯穿的过滤通道,所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段,所述导流段内径从上向下逐渐减小,所述导流段侧壁设有螺旋布置的导流槽。
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