[实用新型]一种用于光刻胶剥离液的分离结构有效
申请号: | 201721113201.8 | 申请日: | 2017-08-31 |
公开(公告)号: | CN207270833U | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 李向峰;黄安宁;高豹;曹庆 | 申请(专利权)人: | 安庆市鑫祥瑞环保科技有限公司 |
主分类号: | B01D29/56 | 分类号: | B01D29/56;B01D29/64;G03F7/42 |
代理公司: | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙)34119 | 代理人: | 段晓微,叶美琴 |
地址: | 246000 安徽省安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于光刻胶剥离液的分离结构,多个过滤模块共同围成过滤通道,所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段,所述导流段内径从上向下逐渐减小,每个填料模块具有采用多层陶瓷丝网构成的层状结构,多层陶瓷丝网向远离所述过滤通道的方向依次布置,过滤挡板位于过滤主体上方,过滤挡板与过滤主体之间形成沿所述导流段侧壁的液体通道,过滤挡板朝向过滤主体一侧设有毛刷结构。通过上述优化设计的用于光刻胶剥离液的分离结构,结构设计优化合理,过滤挡板与过滤主体之间形成沿所述导流段侧壁的液体通道,光刻胶剥离液在过滤挡板的作用下沿导流段表面流动,经过多层陶瓷丝网过滤分离,最终液体部分通过出流段流出,有效保证光刻胶剥离液的过滤分离。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 光刻 剥离 分离 结构 | ||
【主权项】:
一种用于光刻胶剥离液的分离结构,其特征在于,包括:过滤主体、过滤挡板(2);过滤主体包括多个过滤模块(1),多个过滤模块(1)共同围成过滤通道,所述过滤通道包括上下依次连通的导流段和出流段,所述导流段内径从上向下逐渐减小,每个填料模块具有采用多层陶瓷丝网构成的层状结构,多层陶瓷丝网向远离所述过滤通道的方向依次布置;过滤挡板(2)位于过滤主体上方,过滤挡板(2)与过滤主体之间形成沿所述导流段侧壁的液体通道,过滤挡板(2)朝向过滤主体一侧设有毛刷(3)结构。
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