[实用新型]一种蚀刻板清洁装置有效
申请号: | 201721138588.2 | 申请日: | 2017-09-06 |
公开(公告)号: | CN207357700U | 公开(公告)日: | 2018-05-15 |
发明(设计)人: | 曾旭 | 申请(专利权)人: | 宁波东盛集成电路元件有限公司;宁波东顺电子科技有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B7/00 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 315000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种蚀刻板清洁装置,包括清洁箱、风箱和输送装置;输送装置包括气缸、伸缩杆和移动架;气缸固定在风箱内部,伸缩杆一端与气缸相连接,伸缩杆的另一端与移动架相连接,蚀刻板固定在移动架内;风箱内设有多个吹风装置,风箱的一个侧壁与清洁箱相连接,风箱与清洁箱之间设有一块活动隔板;清洁箱内设有若干组清洁辊,每组清洁辊包括上清洁辊和下清洁辊,上清洁辊和下清洁辊的表面设有一层粘性薄膜,上清洁辊的转轴与下清洁辊的转轴相互平行设置,蚀刻板从上清洁辊与下清洁辊之间通过。本实用新型所述的蚀刻板清洁装置具有双重清洁过程,能够减少粘性薄膜的更换,节省了清洁成本也提高了清洁效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 蚀刻 清洁 装置 | ||
【主权项】:
1.一种蚀刻板清洁装置,其特征在于:包括清洁箱、风箱和输送装置;所述输送装置包括气缸、伸缩杆和移动架;所述气缸固定在所述风箱内部,所述伸缩杆一端与所述气缸相连接,所述伸缩杆的另一端与所述移动架相连接,蚀刻板固定在所述移动架内;所述风箱内设有多个吹风装置,所述风箱的一个侧壁与所述清洁箱相连接,所述风箱与所述清洁箱之间设有一块活动隔板;所述清洁箱内设有若干组清洁辊,每组所述清洁辊包括上清洁辊和下清洁辊,所述上清洁辊和所述下清洁辊的表面设有一层粘性薄膜,所述上清洁辊的转轴与所述下清洁辊的转轴相互平行设置,所述蚀刻板从所述上清洁辊与所述下清洁辊之间通过。
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