[实用新型]提升机构、输送装置及硅片自动输送制造设备

摘要

本实用新型公开了一种提升机构、输送装置及硅片自动输送制造设备。提升机构包括至少两条并排设置的提升流水线，提升流水线包括单轴机器人及托架，托架包括固定板、底座、及顶板，固定板与单轴机器人相连，底座内设置有输送带，以方便硅片花篮在托架中的移入和移出；顶板上设置有顶部定位组件，顶部定位组件包括顶部驱动件及定位杆，定位杆沿竖直向滑动连接于顶板，顶部驱动件驱动定位杆竖直移动。各提升流水线可以分别带动硅片花篮移动，方便使用，且利于后期上下料作业；定位杆在顶部驱动件的驱动下向下移动，可以将硅片花篮定位在托架中，提高提升的稳定性；定位杆可以将不同高度的硅片花篮定位，以适用于不同高度的硅片花篮，容差性较好。

主权项

一种提升机构，其特征在于，包括至少两条并排设置的提升流水线，所述提升流水线包括单轴机器人及用于容纳硅片花篮的托架，所述单轴机器人连接于所述托架，用于带动所述托架直线升降移动；所述托架包括固定板、底座、及顶板，所述固定板与所述单轴机器人相连，所述底座及顶板相对设置，且分别固定于所述固定板竖直向的两端处；所述底座内设置有输送带，所述输送带的输送方向为所述提升流水线的排布方向；所述顶板上设置有顶部定位组件，所述顶部定位组件包括顶部驱动件及定位杆，所述定位杆竖直设置，且沿竖直向滑动连接于所述顶板，所述顶部驱动件固定于所述顶板，所述顶部驱动件与所述定位杆传动连接，以驱动所述定位杆竖直移动。