[实用新型]一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路

摘要

一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，该管路由一个螺纹接头、一个喷水头、若干直接头和若干三通接头组合而成，各部件之间通过相互配合的球面凸接头球面凹接头形成可拆卸转动连接。本实用新型不需要安装支架，通过螺纹接头、喷水头、若干直接头和若干三通接头根据需要组合连接而成，并将其固定安装在设备需要的位置，通过增减直接头和三通接头来调节管路的长短，各部件之间通过互相配合的球面凸接头与球面凹接头连接，从而使得其喷水方向能够根据需要随意调节，便于实现喷水的自动化。

主权项

1.一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，其特征在于：该管路由一个螺纹接头（1）、一个喷水头（4）、若干直接头（2）和若干三通接头（3）组合而成，其中，螺纹接头（1）的一端具有与标准管路连接的螺纹套管（5），另一端具有球面凸接头（6），直接头（2）的两端分别具有球面凸接头（6）和球面凹接头（7），三通接头（3）的三个接口上分别与一个球面凹接头（7）和两个球面凸接头（6）连接，喷水头（4）为空心圆锥结构，且空心圆锥的底部与一球面凹接头（7）连接，在空心圆锥上设置有喷水板（8），喷水板（8）上分布有若干与空心圆锥内部的空腔连通的喷水孔（801）；所述螺纹接头（1）上的球面凸接头（6）、直接头（2）上的球面凸接头（6）和三通接头（3）上的球面凸接头（6）结构和大小均相同，所述直接头（2）上的球面凹接头（7）、三通接头（3）上的球面凹接头（7）和喷水头（4）上的球面凹接头（7）结构和大小均相同，且每一个球面凸接头（6）均可插入任意一个球面凹接头（7）内，以使两者形成转动连接从而将不同的部件组合连接。