[实用新型]带有压料装置的全自动探针台有效
申请号: | 201721172954.6 | 申请日: | 2017-09-13 |
公开(公告)号: | CN207181460U | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
发明(设计)人: | 刘振辉;林生财;王胜利;杨波 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种带有压料装置的全自动探针台,包括机架,所述机架包括第一台面以及与所述第一台面间隔布置的第二台面;活动式装配于所述第一台面的、位于所述第一台面和所述第二台面之间的、用于放置待测件并带动所述待测件移动的、以将所述待测件吸附固定的工作台;设置于所述第二台面上的、当放置有所述待测件的所述工作台移动至一指定位置时将所述待测件压紧于所述工作台上的压料装置;以及,依次控制所述工作台进行所述移动动作、所述压料装置进行所述压紧动作及所述工作台进行所述吸附动作的控制中心。通过压料装置的压紧作用以减小待测件和工作台之间的间隙,达到后续待测件易于被工作台吸附固定的目的。 | ||
搜索关键词: | 带有 装置 全自动 探针 | ||
【主权项】:
一种带有压料装置的全自动探针台,其特征在于,包括:机架(1),所述机架(1)包括:第一台面(11)以及与所述第一台面(11)间隔布置的第二台面(12);活动式装配于所述第一台面(11)的、位于所述第一台面(11)和所述第二台面(12)之间的、用于放置待测件并带动所述待测件移动的、以将所述待测件吸附固定的工作台(2);设置于所述第二台面(12)上的、当放置有所述待测件的所述工作台(2)移动至一指定位置时将所述待测件压紧于所述工作台(2)上的压料装置(3);以及,依次控制所述工作台(2)进行所述移动动作、所述压料装置(3)进行所述压紧动作及所述工作台(2)进行所述吸附动作的控制中心。
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