[实用新型]一种用于CVD设备的过滤装置有效
| 申请号： | 201721173149.5 | 申请日： | 2017-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN207153388U | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 林俊贤 | 申请（专利权）人： | 苏州汉德曼精密制造有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 孙仿卫,赖婉婷 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于CVD设备的过滤装置，CVD设备具有反应室，过滤装置包括进气管、过滤器单元、出气管和真空泵，进气管的一端与反应室相连，出气管的一端与过滤器单元的出气口相连、另一端与真空泵相连，过滤装置还包括具有内腔的沉积桶，沉积桶的进气口与进气管的另一端相连，沉积桶的出气口与过滤器单元的进气口相连，沉积桶内固定设置有水冷盘管。本实用新型设置沉积桶，带有粉尘的气体在重力作用下，大部分的大颗粒粉尘沉积到沉积桶的底部，气体然后进入过滤器单元进一步过滤，如此进入到过滤器内的气体，粉尘量大大降低，提高了过滤器的使用周期和单组滤芯的利用率，进而提高了设备的稳定性及稼动率，提高产量，也降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 cvd 设备 过滤 装置 | ||
【主权项】：
一种用于CVD设备的过滤装置，所述CVD设备具有反应室，所述过滤装置包括进气管、过滤器单元、出气管和真空泵，所述进气管的一端与所述反应室相连，所述出气管的一端与所述过滤器单元的出气口相连、另一端与所述真空泵相连，其特征在于：所述过滤装置还包括具有内腔的沉积桶，所述沉积桶的进气口与所述进气管的另一端相连，所述沉积桶的出气口与所述过滤器单元的进气口相连，所述沉积桶内固定设置有水冷盘管。
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